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超純水設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)運用的“優(yōu)”點

發(fā)布時間:2023-09-22 14:30瀏覽:

半導(dǎo)體行業(yè)隸屬電子信息產(chǎn)業(yè),屬于硬件產(chǎn)業(yè),其中包含了集成電路、分立器件、傳感器、光電子器件四個部分,半導(dǎo)體器件的制造需要消耗大量的水,在器件制造的許多不同階段,水被用于表面清潔、濕法蝕刻、電鍍和化學機械平坦化等,在生產(chǎn)過程中都離不開一種水的使用,那就是超純水。而半導(dǎo)體制造所需的水不是普通意義的水,而是將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水,而這種超純水電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.25MΩ*cm極限值(25℃)。 在超純水生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,就會使半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。如何制備這樣的超純水呢?當然是應(yīng)用超純水設(shè)備來制備,超純水設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的用途和重要性非常顯著,是半導(dǎo)體芯片制造過程中必不可少的設(shè)備之一。超純水設(shè)備可以去除水中的雜質(zhì),保證半導(dǎo)體芯片、材料和器件的質(zhì)量和性能。那么半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的超純水設(shè)備到底優(yōu)在何處呢?

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半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的超純水設(shè)備不僅可以有效去除水中溶解的有機物,還可以去除溶解的無機鹽物質(zhì),包含有鈉、鈣、鎂等鹽類,這些鹽類溶于水形成正離子,當含有這些離子的水沖洗芯片等器件時,會造成短路問題。

半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備的優(yōu)勢在于能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)對水質(zhì)的嚴格要求,從而半導(dǎo)體行業(yè)制造出高質(zhì)量的產(chǎn)品。超純水設(shè)備也具有節(jié)能、環(huán)保的優(yōu)勢,因為它的設(shè)計可以地減少能源的消耗,減少對環(huán)境的影響。

三、半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備也具有可靠性高、維護方便等優(yōu)勢,因為它采用的技術(shù),使得設(shè)備的可靠性大大提高,而且維護也更加方便,可以有效減少維護成本。

該超純水設(shè)備安裝方便,自動化性能強,無需人工操作,方便人員管理。

半導(dǎo)體行業(yè)超純水設(shè)備是半導(dǎo)體行業(yè)制造出高質(zhì)量產(chǎn)品的關(guān)鍵。其實,超純水設(shè)備不僅能夠在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用,還可以在光伏產(chǎn)業(yè)中應(yīng)用,為需要超純水的行業(yè)輸送高品質(zhì)超純水。


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